半導体産業技術研究所は、情報化社会の先にある高度医療保障社会に向け 予防医学やユビキタス病気早期診断を実現するために、エレクトロニクスとバイオテクノロジーを 融合する基盤技術を開発しグローバルな教育研究拠点を構築することを目的として設立されました。 研究領域はナノ集積科学、集積システム科学、分子生命情報科学、集積医科学の4つからなっています。

本研究所の前身は文部科学省の省令センターとして1986年に10年時限で設立された 集積化システム研究センターです。1996年5月にはナノデバイス・システム研究センターとして 新たな10年時限で改組設立されました。 センター設立後12年目となる2008年5月1日に、 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所が 大学院先端物質科学研究科半導体集積科学専攻の研究グループと分子生命機能科学専攻の研究グループ および大学院医歯薬学総合研究科の研究グループの協力を得て学内措置で設立されました。

1986年(昭和61年)4月	集積化システム研究センター設置 文部省令による学内共同教育研究施設(10年時限)
1996年(平成8年)5月	ナノデバイス・システム研究センター設置 文部省令による学内共同教育研究施設(10年時限)
2008年(平成20年)5月	ナノデバイス・バイオ融合科学研究所設置 国立大学法人化後の学内措置として改組(10年時限)
2012年(平成24年)4月	国立大学附置研究所・センター長会議入会
2016年(平成28年)4月	共同利用・共同研究拠点「生体医歯工学共同研究拠点」として文部科学大臣認定
2022年(令和4年)4月	ナノデバイス研究所に改称
2024年(令和6年)4月	半導体産業技術研究所に改称