ナノ集積科学研究部門は、 ナノデバイスプロセス 、 ナノインテグレーション 、 ナノ ・ バイオ融合デバイス 、 ナノ量子デバイス 、ナノデバイスモデリングの研究を行っています 。 専任 教員 5 名 、併任教員 6 名 、 客員 教員 5 名 、 特任教員 4 名で構成されています 。